การวิจัยและการใช้งานของแก๊สพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ 3MS ในการผลิตครึ่งตัวนํา

ซิลิคอนเทตราฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่มีสีที่อุณหภูมิห้อง และสามารถกลายเป็นของเหลวที่ไม่มีสีหรือของแข็งสีขาวเมื่ออยู่ในสภาพถูกกดและเย็น มันละลายได้ในเอทานอล กรดไนตริก และกรดไฮโดรฟลูออริก แต่ไม่ละลายในอีเทอร์ ในอากาศที่ชื้น ซิลิคอนเทตราฟลูออไรด์จะเกิดปฏิกิริยาไฮโดรไลซิสเพื่อสร้างควันหนาแน่น ออกไซด์ของซิลิคอน และไฮโดรเจนฟลูออไรด์